潽拓——爱德华复合分子泵，分子泵

日本岛津Shimadzu EI-3003M控制器，潽拓维修Shimadzu分子泵

岛津分子泵控制器、电源、驱动器维修的部分型号：  

EI-R/S/M系列：

EI-R04M、EI-S04MEL/PTI 系列EL-203、EL-303、EL-403、PTI-1500

EI-D/M系列：

EI-D203M、EI-D303M、EI-D1003M、EI-D1103M、EI-D1303M、EI-D2003M、EI-D2203M、EI-D3153M、EI-D3203M、EI-D3403M、EI-D3603M、EI-D4203M

EI-M/MD/ME/MT系列：

EI-203M、EI-203MD、EI-280、EI-281、EI-303M、EI-1003M、EI-1303MD、EI-1500、EI-2001、EI-2001ME、EI-2003M、EI-3003M、EI-3203MD、EI-3403MD、EI-4203MZ 、EI-4203MT

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——爱德华复合分子泵

岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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广州潽拓光电科技有限公司 二手涡轮分子泵Shimadzu TMP-4203LMC分子泵维修在线咨询

Shimadzu TMP-4203LMC分子泵进气法兰口VG250/ISO250B，输送介质清水泵  ，极限压力10-7pa，转速为27600 rpm，岛津TMP-2804LMC二手磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M

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